表1. d07-7b 型mfc性能指标
编号
项     目
d07-7b  型
1
流量规格
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  sccm
( 0~1,2,3,5,10)                    slm
2
准确度
±1.5  % f.s
3
线性    
±1  % f.s
4
重复精度 
±0.2  %f.s
5
响应时间
电特性:      10   sec
  气特性:  ≤ 4  sec
6
工作压差范围
(0.1  ~ 0.5)  mpa
7
耐压
3  mpa
8
工作环境温度
5 ℃ ~ 45 ℃
9
输入输出信号
0  v ~ +5.00 v
(输入阻抗大于100k, 输出电流不大于3ma)
10
电源
+15  v   50 ma
-15v   200 ma
11
外形尺寸
见图4
12
重量
1.1  kg
注意:                                                                       
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（n2）标定。
质量流量的单位规定为:  sccm  (标准毫升/分);
　　　　　　　　　　　　slm    (标准升/分)
标准状态规定为:           温度 ---  273.15k  ( 0℃);
                          气压 —  101325 pa (760mm hg)
f.s. (fullscale):     满量程值
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